金屬-有機(jī)化學(xué)氣相沉積（MOCVD）工藝被廣泛應(yīng)用于 LED、光學(xué)器件和其他元件的制造。液體和固體前導(dǎo)通過控制溫度、壓力和載體氣流速（泡泡法）輸送到反應(yīng)室。在線 IR-300 系列實(shí)時(shí)測量和反饋氣體濃度。

產(chǎn)品描述

商品詳情

Vapor Concentration Monitor IR-300

概要

金屬-有機(jī)化學(xué)氣相沉積（MOCVD）工藝被廣泛應(yīng)用于 LED、光學(xué)器件和其他元件的制造。液體和固體前導(dǎo)通過控制溫度、壓力和載體氣流速（泡泡法）輸送到反應(yīng)室。
在線 IR-300 系列實(shí)時(shí)測量和報(bào)告氣體濃度，為用戶提供以下優(yōu)勢：

優(yōu)化過程控制以生產(chǎn)更上等別的
設(shè)備提高設(shè)備產(chǎn)量并減少廢料
提高可再現(xiàn)性
知道泡沫器何時(shí)需要更換擴(kuò)展 MTTA
減少計(jì)劃外干預(yù)
減少有價(jià)值的前體廢物
實(shí)時(shí)監(jiān)測
快速響應(yīng)和出色的重復(fù)性允許實(shí)時(shí)跟蹤蒸汽濃度變化
多校準(zhǔn)曲線功能（可選）
允許測量多達(dá) 3 個(gè)化學(xué)品或范圍
多顯示功能
IR-300 單元頂部的多顯示功能為用戶提供了濃度監(jiān)測和前體供應(yīng)線狀態(tài)的現(xiàn)場檢查
功能
通過 DeveNet

, RS485 和模擬通信連接
簡單,緊湊型
設(shè)計(jì)采用 124 mm 的VCR尺寸，緊湊且無安裝方向要求，便于集成

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