HORIBA的液體源汽化系統(tǒng)包括三種不同類型的汽化方式：直接注入式、混合注入式、直接加熱式。我們的產(chǎn)品嚴格遵守半導體市場不斷更新的要求。我們汽化原理制作產(chǎn)品，比如壓差監(jiān)測法或HORIBA更早前開發(fā)的應用于液體流量計的冷卻法，以及螺旋式的混合注入系統(tǒng)。我們多種不同的汽化系統(tǒng)以及流量控制器可提供您多種不同的選擇方式。 HORIBA還擁有高精度、高速數(shù)字流量響應的液體流量控制器和液體流量計。 HORIBA對于以下幾種液體材料有著豐富的經(jīng)驗

產(chǎn)品描述

商品詳情

混合注入型液體汽化器 MV-2000

用于易熱解的液體

概要

Horiba汽化器 MV-2000系列實現(xiàn)高效的汽化，即使在低溫情況下也可通過螺旋式加熱達到汽化效果。此種汽化方式適用于半導體制造工藝，諸如“High-k”——一種易熱解的液體源

特征

以螺旋加熱式完成穩(wěn)定的低溫汽化
大流量汽化（增加穩(wěn)定性數(shù)據(jù)）
可汽化易熱解的液體源

技術參數(shù)

型號	MV-2000
液體名稱	所有液體，除對不銹鋼有腐蝕的(如. HCl, HF)
設定溫度	取決于汽化條件(控制閥 : 上限140 ?C ，汽化器 : 上限200 ?C)
泄露率	≤ 1 × 10-8 Pa·m3 /s (He)
內(nèi)部泄露率	≤ 1 × 10-6 Pa·m3 /s (He)
接液材質(zhì)	SUS316L , PFA
溫度傳感器	Thermocouple type K (CA)
耐壓	1MPa (G)
接口尺寸	液體入口: 1/8”MVCR 載氣入口: 1/4 FVCR 氣體出口: 1/2 MVCR
操作溫	15 - 50 ?C
可選項	閥門(內(nèi)漏率: ≤ 1×10-9 Pa · m3 / s(He) )

汽化器產(chǎn)生的氣體流量取決于液體的特性，汽化條件等多種參數(shù)。
汽化器內(nèi)有加熱器、溫度傳感器、溫度開關。

液體源汽化系統(tǒng)

HORIBA的液體源汽化系統(tǒng)包括三種不同類型的汽化方式：直接注入式、混合注入式、直接加熱式。我們的產(chǎn)品嚴格遵守半導體市場不斷更新的要求。我們利用監(jiān)測/汽化原理制作產(chǎn)品，比如壓差監(jiān)測法或HORIBA更早前開發(fā)的應用于液體流量計的冷卻法，以及螺旋式的混合注入系統(tǒng)。我們多種不同的汽化系統(tǒng)以及流量控制器可提供您多種不同的選擇方式。
HORIBA還擁有高精度、高速數(shù)字流量響應的液體流量控制器和液體流量計。

HORIBA對于以下幾種液體材料有著豐富的經(jīng)驗

Acetic Acid	Benzene	B(OCH3)3	BTBAS	C6F6
Cyclohexane	Decyl-TMOS	DPM	DPMS	Ethanol
Ge(OCH3)4	GeCl4	H2O	HCD	HDFDA
HMDS	HMDSO	i-Octane	IPA	Me-Cyclohexane
Methanol	n-Octane	OMCTS	OMTS	P(OCH3)3
PO(OCH3)3	SAM24	Si(CH3)4	Si(OCH3)4	SiCH3Cl3
SiCl4	SiH(OCH3)3	SiHCl3	Ta(OC2H5)5	TBTDETa
TDEAHf	TDEAT	TDMAS	TDMAT	TEB
TEMAHf	TEMAZr	TEOS	TEPO	THF
Ti(O-iPr)4	TiCl4	TMCTS	Toluene	1,3-DMA

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MV-2000混合注入型液體汽化器 用于易熱解的液體

商品詳情

混合注入型液體汽化器 MV-2000

用于易熱解的液體

概要

特征

液體源汽化系統(tǒng)

HORIBA對于以下幾種液體材料有著豐富的經(jīng)驗

MV-2000混合注入型液體汽化器用于易熱解的液體