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產(chǎn)品名稱：S48/32低成本質量流量控制器
產(chǎn)品型號：
產(chǎn)品展商：日本HORIBA
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簡單介紹

低成本質量流量控制器S48/32 S48/32是horiba厚禮博的暢銷產(chǎn)品，流量從1sccm-50LPM，精度1%，電源有±15V和24V可選，輸出信號有4-20mA、0-5V可選。質量流量控制器（流量計）（Mass gas flow controller（meter））縮寫為MFC(MFM)）是對氣體的質量流量進行精密測量和控制的設備。氣體流量不因溫度、壓力的變化而失準高精度重復性好響應速度快、軟啟動、穩(wěn)定可靠低壓降操作使用方便，可任意位置安裝。

產(chǎn)品描述

低成本質量流量控制器S48/32

S48/32是horiba厚禮博的暢銷產(chǎn)品，流量從1sccm-50LPM，精度1%，電源有±15V和24V可選，輸出信號有4-20mA、0-5V可選。

質量流量控制器（流量計）（Mass gas flow controller（meter））縮寫為MFC(MFM)）是對氣體的質量流量進行精密測量和控制的設備。

*氣體流量不因溫度、壓力的變化而失準 *高精度 *重復性好 *響應速度快、軟啟動、穩(wěn)定可靠 *低壓降

*操作使用方便，可任意位置安裝。

S48 32/HMT質量流量控制器（流量計）

編號	項目	S48 32/HMT
1	流量規(guī)格	(10,50,100,500)mL/min (0～1,5,10)L/min
2	調節(jié)閥類型	電磁調節(jié)閥
3	調節(jié)閥靜止狀態(tài)	常閉
4	安裝方向	任意
5	流量控制范圍	2%～100%
6	流量測量范圍	（0～100）%
7	零點溫漂	±30mV（15℃～35℃）
8	響應時間	2s（設定值的±2% F.S）
9	工作環(huán)境溫度	5℃～50℃
10	精度保證溫度	15℃～35℃
11	精度	±1.0%F.S
12	線性精度	±0.5%F.S
13	重復性	±0.2%F.S
14	工作壓差	＜5L/min(0.05～0.3)MPa ，5L/min～10L/min： (0.1～0.3)MPa
15	耐壓	10MPa
16	泄漏率	1×10^-8 Pa.m³/s
17	接觸氣體材料	橡膠密封：SUS316L、PTFE、Viton氟橡膠金屬密封：316L、PTFE
18	管路接頭	1/4Swagelok,Φ6～Φ10
19	供電電源	±15VDC(±5%)。 +15V＜100mA,-15V＜150mA； +24VDC，250mA
20	設定信號	±15VDC：(0～5)VDC 輸入阻抗＞1MΩ +24VDC：0-5VDC、1-5VDC、4-20mA
21	流量輸出信號	±15VDC：(0～5)VDC 負載能力≤3mA +24VDC：0-5VDC、1-5VDC、4-20mA
22	電氣接頭	D-SUB15
23	外形尺寸mm	113(寬)×121（高）×32（厚）

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S48/32低成本質量流量控制器