高溫應(yīng)用質(zhì)量流量控制器 SEC-8000 系列耐溫150℃，*大流量1050SLM，概要 SEC-8000F/D/E 系列是日本horiba堀場(chǎng)/厚禮博品牌的特殊產(chǎn)品, 可以在高溫環(huán)境下工作, 實(shí)現(xiàn)超潔凈狀況下百萬(wàn)分之上等別的超小流量的分析與控制，能夠滿足復(fù)雜多變的半導(dǎo)體制程需求。而HORIBA集團(tuán)也為可以給客戶提供全系列的產(chǎn)品而感到驕傲。

產(chǎn)品描述

高溫應(yīng)用質(zhì)量流量控制器 SEC-8000 系列

耐溫150℃，*大流量1050SLM，

概要

SEC-8000F/D/E 系列是日本horiba堀場(chǎng)/厚禮博品牌的特殊產(chǎn)品, 可以在高溫環(huán)境下工作, 實(shí)現(xiàn)超潔凈狀況下百萬(wàn)分之上等別的超小流量的分析與控制，能夠滿足復(fù)雜多變的半導(dǎo)體制程需求。而HORIBA集團(tuán)也為可以給客戶提供全系列的產(chǎn)品而感到驕傲。

特征

·         適用于高溫：可滿足150℃烘焙
·         具備數(shù)字式流量計(jì)的高精度性能-高控制精度：±1.0% 設(shè)定流量.
·         超快速響應(yīng)
·         超潔凈處理
·         滿足RoHS 環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)

特征

它是搭載有壓電閥、可在高溫環(huán)境中使用的質(zhì)量流量控制器。

適用于高溫：可滿足150℃烘焙
產(chǎn)品陣容中有可滿足使用溫度的產(chǎn)品型號(hào)
超清潔類型：接氣部全不銹鋼構(gòu)造
*適于MOCVD用有機(jī)金屬材料、低蒸氣壓材料、腐蝕性氣體的流量控制

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